機械種別 | 光学顕微鏡 |
---|---|
メーカー | キーエンス |
型式 | VHX-D500 |
テーブルサイズ | |
特徴 | 電子顕微鏡とマイクロスコープのハイブリッド観察を実現。 |
台数 | 1台 |
導入年 | 2020年 |
機械種別 | 真円度測定機 |
---|---|
メーカー | 東京精密 |
型式 | ロンコム30C/43C/55B |
テーブルサイズ | |
特徴 | 加工物bの真円・円筒度等の測定が出来100,000分の1までの測定が可能 |
台数 | 3台 |
導入年 | 2008年 |
機械種別 | 非接触三次元測定装置 |
---|---|
メーカー | 三鷹光器 |
型式 | NH-3SP |
テーブルサイズ | |
特徴 | 非球面の形状測定に用い、面の粗さも測定できる。形状精度0.3nm、表面粗さ10nm |
台数 | 1台 |
導入年 | 2010年 |
機械種別 | 形状測定マイクロレーザースコープ |
---|---|
メーカー | キーエンス |
型式 | VK-X200 |
テーブルサイズ | |
特徴 | 形状測定に用い、面の粗さも測定が可能。表示分解能 高さ0.5nm、幅1nm |
台数 | 1台 |
導入年 | 2012年 |